Oc光阻劑的oc是什麼意思
OC光阻劑(OC Photoresist)中的「OC」是「Organic Compound」的縮寫,意為有機化合物。這種光阻劑是一種塗覆在半導體晶圓表面的材料,用於微影製程(Photolithography)中。
在半導體製造過程中,光阻劑被塗覆在晶圓表面,然後經過紫外線(UV)曝光和顯影步驟,以形成所需的微細圖案。OC光阻劑是一種有機材料,它可以在特定的波長下感光,經過顯影後,未曝光的部分可以被溶劑洗去,而曝光的部分則會硬化,形成抗蝕刻層。
OC光阻劑的特點是它們對特定波長的紫外線敏感,並且在顯影過程中具有良好的選擇性,即能夠很好地與晶圓表面分離,而不會對晶圓本身造成損害。這種材料在半導體製造中非常重要,因為它們能夠幫助製造出小於1微米的精細結構,這是傳統機械加工難以達到的。