Ito濺射靶材是什麼意思
"Ito Sputtering Targets" 這個詞彙在材料科學和半導體製造領域中指的是一種用於物理氣相沉積(PVD)技術的靶材。在這個過程中,一個高能量的粒子束(通常是氬氣原子)撞擊靶材,使靶材表面的原子濺射出來並沉積在基底材料上,形成一層薄膜。
"Ito" 這個詞可能指的是靶材的成分或者是由某個特定的公司或研究機構開發的靶材品牌或技術。在沒有更多上下文的情況下,很難確定 "Ito" 具體指的是什麼。如果 "Ito" 指的是一種特定的材料,那麼 "Ito Sputtering Targets" 就是指用這種材料製成的靶材,用於濺射沉積過程。
在半導體製造中,濺射靶材可以是單一元素的(例如純銅、純鋁等),也可以是合金或化合物(例如銅鈦合金、氮化銦鎵等),用於在晶圓表面形成導電層、絕緣層或半導體層。這些靶材的質量和純度對於最終產品的性能有著重要影響。