Efem在半導體什麼意思

"EFEM" 在半導體行業中通常指的是 "Elevator-type Front-end Equipment Module" 或 "Elevator Front-end Equipment Module"。這種裝置用於晶圓製造過程中，用來將晶圓從一個處理層提升到另一個處理層，有點像是電梯的作用，因此得名。

在半導體製造流程中，晶圓會經過多個處理步驟，包括光刻、蝕刻、沉積等。這些步驟通常在不同的機台或處理腔室中進行。EFEM 的作用就是將晶圓從一個機台傳送到另一個機台，同時保持晶圓的清潔和無塵環境。

EFEM 通常包含一個或多個晶圓傳送臂，這些傳送臂可以在垂直方向上移動，以便將晶圓提升到不同的高度。在傳送過程中，晶圓會被密封在一個無塵的環境中，以防止污染。

EFEM 是半導體製造中不可或缺的設備，它能夠提高生產效率，同時保證晶圓的質量。隨著半導體技術的不斷進步，EFEM 的設計和功能也在不斷發展和改進。