本底真空度是什麼意思

本底真空度（Background vacuum）是指在一個真空環境中，除了被刻意抽取的氣體外，還存在的一些氣體殘留物。這些氣體可能來自於材料本身的釋放、系統的洩漏、或是製造過程中引入的痕量氣體。本底真空度通常用來描述一個真空系統在最佳抽氣狀態下所能達到的最低壓力。

在實驗室或工業應用中，本底真空度是一個重要的參數，因為它會影響實驗的精確度和結果的可靠性。例如，在質譜分析中，需要極高的真空度來提高儀器的解析度；在電子製造中，低本底真空可以減少氣體分子對半導體工藝的乾擾。

本底真空度的量級可以從高真空（10-3至10-4 Torr）到超高真空（10-9 Torr或更低）不等，視乎具體應用和系統的設計。在測量本底真空度時，通常使用真空計，它們可以測量不同壓力範圍的氣體分壓，從而計算出總壓力。