晶舟意思

晶舟（Cassette），又稱晶圓承載器，是一種用於半導體晶圓片存儲、運輸和處理的專業工具。在半導體製造過程中，晶圓需要在不同的工藝階段被安全地轉移，而晶舟就是用來承載這些晶圓的。

晶舟通常由金屬或塑膠材料製成，具有多個用於放置晶圓的凹槽。每個凹槽可以容納一片晶圓，晶圓通過靜電吸附或機械固定方式保持在晶舟中。晶舟的設計需要確保晶圓在運輸過程中不會移動或損壞。

晶舟在半導體製造流程中起到了關鍵的作用，它們被用於將晶圓片從一個工藝步驟轉移到另一個工藝步驟，例如從光刻機到蝕刻機，或者從晶圓廠的存儲區域到測試區域。晶舟的尺寸和設計通常與晶圓的尺寸（如200毫米或300毫米直徑的晶圓）相對應。

除了在半導體製造中的套用，晶舟的概念也被用於其他行業，如光學和生物技術，在這些領域中，它們被用來存儲和運輸易碎或敏感的部件和樣品。