微機電是什麼意思
微機電（Microelectromechanical Systems, MEMS）是一門結合了微電子學和機械學的技術，它涉及微尺度機械結構的設計、製造、測試和應用。這些結構通常尺寸在微米到毫米之間，比人類頭髮直徑還要小。MEMS技術利用半導體製造工藝，將微型機械元素與電子元件集成在同一晶片上，創造出能夠執行感測、促動、控制和資訊處理功能的微型系統。
MEMS的應用非常廣泛，包括但不限於：
- 感測器：如加速度計、陀螺儀、壓力感測器、濕度感測器、光感測器等。
- 執行器：如微型馬達、微型泵、微型振盪器等。
- 生物醫學：微流控晶片、藥物傳遞系統、生物感測器等。
- 汽車：安全氣囊感測器、車輛穩定控制系統等。
- 消費電子：手機中的微型麥克風、相機自動對焦系統等。
- 航空航太：慣性導航系統、氣象探測器等。
MEMS技術的發展使得這些微型系統能夠在各種環境中工作，從極端溫度條件到太空真空環境，從醫療植入物到環境監測設備。隨著技術的進步，MEMS的應用範圍還在不斷擴展。