半導體磊晶是什麼意思
半導體磊晶(Epitaxy)是一種生長單晶半導體材料的方法,用於製造高品質的半導體器件。在磊晶過程中,新的一層單晶半導體材料會在已經生長好的單晶基底上逐層生長,這樣生長出來的層次具有完美的晶格匹配和化學純度,可以控制厚度從幾個原子層到幾毫米不等。
磊晶技術可以用來生長各種不同的半導體材料,包括矽、鍺、砷化鎵、磷化銦等。這些材料可以用於製造各種電子器件,如集成電路、光電器件、太陽能電池等。
磊晶技術有多種類型,包括氣相磊晶(VPE)、液相磊晶(LPE)、分子束磊晶(MBE)和金屬有機化學氣相磊晶(MOCVD)等。其中,MOCVD是目前最常用的一種磊晶技術,因為它可以在大面積基板上快速生長出均勻的薄膜,適用於工業化生產。