分子泵意思

分子泵是一種高真空泵，它的工作原理是基於氣體分子通過多級機械運動被加速並排出泵外，從而達到高真空環境。分子泵通常由多個轉子（葉輪）組成，每個轉子都通過電機高速旋轉，氣體分子在轉子的作用下被加速並排出泵外。

分子泵的工作過程可以分為以下幾個步驟：

1. 吸入：氣體分子通過分子泵的入口進入泵腔。

2. 加速：氣體分子在轉子的作用下被加速。

3. 排出：加速後的氣體分子通過分子泵的出口排出泵外。

4. 排除：通過多級加速和排出，分子泵可以將腔體內的氣體分子排除到非常稀薄的濃度，從而達到高真空環境。

分子泵廣泛套用於半導體製造、液晶顯示器製造、科學研究、航空航天等領域，是實現高真空環境的重要設備。